GFG 变送器 Py-ReX产品说明
气体萃取模式结合热解检测技术
Py-ReX®热解器提升D-ReX气体检测性能
当Py-ReX热解器与D-ReX PoS及其集成泵配合使用时,可检测高毒性或化学惰性气体。通过检测目标气体的分解产物,即使浓度极低也能实现精准测量。
热解原理
热解器(亦称"分解器")广泛应用于分析设备中。其核心目标是将原始气体(目标气体)转化为更易检测的产物气体。
Py-ReX是丝状热解器,其内部石英玻璃管中设有加热丝。目标气体接触加热丝后分解为产物气体(可能含其他成分),随后通过电化学智能传感器测量产物浓度,并据此计算原始目标气体浓度。
为何选择丝状热解器?
所有热解器均依赖加热分解样本,但在未知成分分析中,热解常需在无氧环境和精确控温条件下进行。
对于已知目标气体和分解产物的检测场景(如本设备),丝状热解器因其以下优势成为可靠选择:
• 无需复杂参数控制
• 长期稳定性高
• 维护成本低
为何不采用放射性吸收法?
部分厂商使用α放射性吸收法(通过放射源生成离子电流差异检测气体)。但我们摒弃此方案,因其存在显著弊端:
• 无性能提升:不提高检测精度或速度
• 安全隐患:需持续管控放射性物质的使用、存储与运输
• 环保问题:需特殊包装回收,运输需符合放射性物质(Type L)标签规定
• 合规限制:空运需特殊审批
当前支持的检测气体清单
化学式 中文名称
C₂H₂Cl₂ 1,2-二氯乙烯(DCE)
C₄F₆ 六氟丁二烯
C₅F₈ 八氟环戊烯
CH₂F 氟甲烷
NF₃ 三氟化氮
SF₆ 六氟化硫
应用场景与安装参数
1. 采样距离
• 点采样(PoS)与D-ReX主机及集成泵的最大距离:30米
• 循环软管最大长度:30米(需搭配线完整性监测LIM)
2. 可选功能
• 线完整性监测(LIM):实时监控管路密封性,防止外部空气污染样本。
适用领域
• 半导体行业:氟基惰性气体(如NF₃、SF₆、C₄F₆)检测
• 工业过程控制:高毒性/化学惰性气体(如1,2-二氯乙烯)监控
• 废气排放管理:痕量有毒气体合规检测
技术特点总结
• 精准检测:通过热解转化实现超低浓度气体测量
• 安全环保:无放射性设计,避免二次污染风险
• 灵活部署:支持长距离采样与即插即用安装
• 兼容性强:适配D-ReX系列气体检测平台