美国ALICAT 流量控制器MC-50SCCM-D/5M,GAS CO2
产品特点 ：
● 数字化产品
● 多参数显示和输出：温度、压力、流量等
● 多参数控制，如体积流量、质量流量和压力
● 标配三种控制方式：数字、模拟和本地面板
● 可选高精度：优于0.5%
● 高量程比 200:1
● 响应时间快 仅需100ms
● 内置98种气体
● 可现场标定混合气体，并存储20种混合气
应用：
● 大学/研究所
● 环境监测
● 真空行业及镀膜
● 工业炉窑
● 半导体
● 汽车制造
● 光伏
● 燃料电池
● 计量
● 过程工艺气体测量
技术参数 ：
介质要求：非腐蚀性、洁净、干燥的气体
介质种类：内置了100多种气体，请参考背面气体兼容表
一台设备内置所有气体，用户可现场选择
量程：从0-0.5SCCM 到 0-5000SLPM（详情请咨询）
量程比：200:1
最大显示流量：102.4%FS
显示屏：同时显示质量流量、体积流量、压力、温度
精度：± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-读数 FS-满量程
高精度：±(0.4%Rd + 0.2%FS)，选配
仅适用于量程为5SCCM-500SLPM的设备
重复性：± 0.2% FS
零点漂移&满量程漂移：0.02% F.S / oC / Atm
预热时间：<1s
响应时间：100ms(可调)
标定工况：25oC & 100kPa 绝压、20oC & 100kPa 绝压、0oC & 100kPa 绝压 (三种工况现场可切换)
工作温度：-10 ～ +50 oC
工作湿度：0-100%,无冷凝
标准最大工作压力：1MPa 表压
标准极限耐压：1.2MPa 表压
中压选项：2MPa
数字输入/输出信号：RS232、RS485、Modbus、Profibus*
模拟输入/输出信号：0-5Vdc、1-5Vdc、 0-10Vdc、4-20mA
供电电压：7-30 Vdc (如选4-20 mA输出，须为15-30 Vdc)
供电电流：250mA ～ 750mA
电气接口：8针Mini-DIN、DB9、DB15、6针工业接头
材质：302不锈钢、Viton、硅胶RTV、玻璃增强尼龙、铝
黄铜、 430FR 不锈钢、 硅、 玻璃
防护等级：IP40
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